簡易檢索 / 檢索結果

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    雙軸短行程微/奈米定位平台整合光纖干涉儀作閉迴路定位控制之研製
    • 機械工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 許學豐 指導教授: 修芳仲
    • 本研究旨在開發一閉迴路X、Y軸短行程微/奈米定位系統,系統主要元件包含以有限元素分析設計具位移放大機構之微/奈米定位平台、壓電致動器、光纖干涉儀量測系統、PC等,系統以LabView程式語言撰寫程式…
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